[10a-N402-1~9] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

△ [10a-N402-5] 溶液の高感度XPS測定に向けたSi₃N₄窓材料のGCIBによる極薄化

〇竹内 雅耶¹、藤原 怜輝¹、豊田 紀章¹ (1.兵県大工)

キーワード：クラスターイオンビーム、X線光電子分光、ドライエッチング

X線光電子分光（XPS）は分子の結合状態を高精度に分析できる有力な手法である。XPSで溶液を測定する場合には、真空中で溶液を封止する必要があるため薄膜Si3N4製の窓を有する溶液セルが使われるが、これを薄化することにより光電子検出感度の向上が期待できる。本研究では、GCIB特有の超低エネルギー照射（数eV/atom）を利用し、機械強度を保持したままでSi3N4膜を数nm程度まで極薄化することを検討する。