[10a-N402-1~9] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

△ [10a-N402-6] Arイオン照射単結晶Si基板上へのAu蒸着によるAuナノワイヤ成長

〇水谷 仁美¹、西尾 弘司¹、高廣 克己¹ (1.京工繊大)

キーワード：ナノワイヤ、イオンビーム、金

我々は、低エネルギーArを照射した単結晶Si基板に対してAuを蒸着することで、照射部と未照射部の界面にのみAuナノワイヤ（NW）が成長することを発見した。本発表では、メッシュを通してAr照射を行うことで、照射部と非照射部界面を増やした場合のAu NW成長について報告する。また、透過型電子顕微鏡による電子回折図形観察により、Au NWsの成長方向を調べた結果も調べた。NW形成のメカニズムについて考察する。