[10a-N403-1~12] 9.1 Dielectrics, ferroelectrics

[10a-N403-1] Effect of Ozone Gas On Drain Current of IGZO-TFT

〇(M1)Hiroharu Sasajima¹, Takaaki Morimoto¹, Keisuke Ishii¹ (1.NDA)

Keywords:IGZO, ozone, solution method

溶液法を用い、スピンコート回転数を変えつつ作製されたIGZO-TFTを用いてオゾンセンサーの作製を試みた。TFTがオン状態の時とオフ状態の時のドレイン電流(ID)の比は、スピンコート回転数2000 rpmのとき最大だった。そのTFTにVG = +40 Vを印加することでオン状態を保ち、オゾン暴露しつつIDの時間変化を測定すると、暴露時間増加に伴いIDが減少することから、IGZO-TFTによるオゾン検出が可能であることが示された。