[10a-S301-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

[10a-S301-10] 準大気圧酸素放電における酸素原子の密度・寿命の圧力依存性

〇中川 雄介¹、岩田 優太¹、杤久保 文嘉¹ (1.都立大SD)

キーワード：準大気圧プラズマ、O原子、レーザー分光

大気圧プラズマはラジカル密度が高い一方、ラジカルの寿命が短く無効消費が大きいという欠点がある。大気圧プラズマの多彩な適用対象を維持しつつラジカル無効消費を抑制するため、0.1-0.9気圧程度の準大気圧プラズマに着目した。準大気圧プラズマにおいて、主要酸化ラジカルであるO原子の挙動をレーザー分光法で計測した結果、0.2気圧に減圧しても大気圧と同等のO原子密度が得られる一方、寿命は10倍以上に延長できることが分かった。