[10a-S301-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

[10a-S301-3] Ar・N₂混合大気圧非平衡プラズマにおける発光分光法による電子温度・電子密度の計測

〇(M2)石塚 良¹、根津 篤^2,3、赤塚 洋^3,1 (1.東工大工、2.東工大オープンファシリティーセンター、3.東工大研)

キーワード：プラズマ、分光計測

大気圧非平衡プラズマは、現在幅広い応用が期待されている一方で、ラジカル密度のシミュレーションおよび制御のために不可欠である「電子温度」と「電子密度」の計測に関して、報告例が少ない。特に産業応用を見据え、反応性気体を混合したプラズマに関しての計測が望まれている。そこで本研究では発光分光計測によって、Ar・N₂混合大気圧非平衡プラズマの電子温度・電子密度の計測を試みる。