[10a-S301-1~10] 8.1 Plasma production and diagnostics

△ [10a-S301-5] Monitoring of Probe Surface in Plasmas Using Impedance Spectroscopy

〇(M1)Junki Morozumi¹, Tomohiro Kuyama^1,2, Seiya Kito¹, Keiichiro Urabe¹, Koji Eriguchi¹ (1.Kyoto Univ., 2.JSPS Research Fellow)

Keywords:Impedance spectroscopy, Plasma, Probe measurement

プローブ測定は電子プラズマパラメータの計測に広く使われている．しかしながら，反応性プラズマの計測においてはプローブ表面状態が測定に大きな影響をおよぼす．そのため，正確な測定にはプローブ表面状態をプラズマ状態とは独立に測定する手法が必要となる．本研究ではプローブ表面状態とプラズマを電気的に独立して評価できるインピーダンス分光法について述べる．