[10a-S301-1~10] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [10a-S301-5] インピーダンス分光法を用いたプラズマ曝露環境下のプローブ表面状態モニタリング

〇(M1)両角 潤樹¹、久山 智弘^1,2、鬼頭 聖弥¹、占部 継一郎¹、江利口 浩二¹ (1.京大院工、2.学振特別研究員DC)

キーワード：インピーダンス分光、プラズマ、プローブ測定

プローブ測定は電子プラズマパラメータの計測に広く使われている．しかしながら，反応性プラズマの計測においてはプローブ表面状態が測定に大きな影響をおよぼす．そのため，正確な測定にはプローブ表面状態をプラズマ状態とは独立に測定する手法が必要となる．本研究ではプローブ表面状態とプラズマを電気的に独立して評価できるインピーダンス分光法について述べる．