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△ [10a-S401-11] 両持ち梁構造を持つ網目状炭素構造体のアクチュエータ特性
キーワード：炭素構造体
マイクロワイヤを形成する技術が電気回路の三次元化及び小型集積化を実現するために注目されている．我々の先行研究では，分散溶液を用いずにカーボンマイクロワイヤを形成し，片持ち梁構造でのアクチュエータ動作を示した．しかし，両持ち梁構造でのアクチュエータとして十分な検討は行われていなかった．従って本報告では特性の制御された両持ち梁構造の網目状炭素構造体を形成すること，アクチュエータとしての特性を報告する．