[10p-N101-1~20] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [10p-N101-6] 顕微光音響・発光同時計測によるInGaN量子井戸の内部量子効率のIn組成依存性測定

〇森 恵人¹、高橋 佑知¹、森本 悠也¹、山口 敦史¹、草薙 進²、蟹谷 裕也²、工藤 喜弘²、冨谷 茂隆² (1.金沢工大、2.ソニーグループ)

キーワード：InGaN、内部量子効率、光音響

近年，窒化物半導体の内部量子効率(IQE)を正確に推定する方法として，我々は光音響・発光同時計測法を提案している．
本研究では，In組成を系統的に変化させたInGaN量子井戸シリーズ(青色～赤色の計5枚)に対して，対物レンズを用いて本手法によるIQE測定を試みた．
推定された各試料のIQEを見ると，In組成が増大するほどIQEが低下するという妥当な結果が得られた．