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[10p-N102-2] RF-MBE法によるGaInN/GaInN多重量子井戸成長と評価
キーワード:GaInN、RF-MBE、MQWs
赤色発光を目的としたRF-MBE法を用いてGa1-xInxN / Ga1-yInyN(x> y)多重量子井戸(MQWs)を成長し,評価を行った.室温でのPL測定の結果では,683 nmのピーク波長が観測され,目的とした赤色波長域にピークを持つPL発光を達成した.この結果を踏まえて,Ga1-xInxN / Ga1-yInyN MQWsの構造,光学特性について包括的に議論する.