[10p-N102-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[10p-N102-3] スパッタアニール法を用いたa面AlNの結晶性の基板オフ角依存性

〇渋谷 康太¹、上杉 謙次郎^2,3、肖 世玉²、正直 花奈子¹、窪谷 茂幸²、秋山 亨¹、三宅 秀人^1,3 (1.三重大院工、2.三重大地創戦略企、3.三重大院地域イノベ)

キーワード：r面サファイア、a面AlN、アニール