[10p-N104-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [10p-N104-10] RPD誘起欠陥DLTSスペクトルのベイズ最適化を用いた回帰解析

〇(D)原 知彦¹、大下 祥雄¹ (1.豊田工大)

キーワード：過渡応答分光法、ベイズ最適化、透明導電膜

キャリア選択型コンタクト太陽電池への透明導電膜堆積には、反応性プラズマ堆積法（RPD）が広く使用される。しかし、本プロセスは、パッシベーション膜とシリコン結晶の界面及びその近傍の結晶内部に複数種類の欠陥を導入し、キャリア寿命を低下させる。本研究では、ベイズ最適化を用いた、DLTSスペクトルの回帰解析により、RPD誘起欠陥の特性値評価を行った。その結果、ミッドギャップにエネルギー準位を持ち、再結合中心となる可能性がある欠陥が導入されていることが示唆された。