[10p-N104-1~18] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[10p-N104-13] Hydrogenation for passivation contacts using a Cat-CVD system

〇Yuli Wen¹, Thi Cam Tu Huynh¹, Keisuke Ohdaira¹ (1.JAIST)

Keywords:Cat-CVD, Hydrogenation, Passivation contacts

パッシベーションコンタクトであるTNPConおよびTOPConに対し、Cat-H処理によりパッシベーション性能を向上させる検討を行った。いずれの構造においても、15分間程度のCat-H処理により、パッシベーション性能が向上することを確認した。また、TNPCon と比べてTOPConの方が、より大きなパッシベーション性能の向上を示した。