[10p-N104-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

[10p-N104-14] スパッタによって作製したTOPCon構造の評価

〇宮本 拓実¹、白取 優大^1,2、宮島 晋介¹ (1.東工大工、2.学振特別研究員DC1)

キーワード：スパッタリング、TOPCon構造、シランフリー技術