[10p-N104-1~18] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [10p-N104-6] 単結晶Si太陽電池の薄型化へ向けたスライスダメージ評価 III

〇(M2)原 豊¹、横川 凌^1,5、西原 達平¹、中村 京太郎²、大下 祥雄²、河津 知之³、長井 俊樹³、山田 昇⁴、宮下 幸雄⁴、小椋 厚志^1,5 (1.明治大理工、2.豊田工大、3.コマツNTC社、4.長岡技科大、5.明治大 MREL)

キーワード：単結晶シリコン太陽電池、ダイヤモンドワイヤーソー

太陽電池用Siウェハーはその生産性の高さから、ダイヤモンドワイヤーソー(DWS)によってスライスされる。しかしDWS特有のダメージが残留し、ウェハーの機械強度や変換効率へ影響を与えることが報告されている。本研究ではスライス後のダメージエッチングのプロセスに着目し、エッチング後の残留ダメージを評価した。その結果高精度なスライスによってエッチング後のウェハーのラフネスを抑えられることが明らかとなった。