[10p-N202-1~19] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [10p-N202-11] X線逆格子空間マッピングを用いたカーボンドープシリコンナノワイヤにおける3軸歪評価(II)

〇吉岡 和俊¹、小笠原 凱¹、張 桐永¹、伊藤 佑太¹、寿川 尚¹、廣沢 一郎^2,3、渡辺 剛⁴、横川 凌^1,3、小椋 厚志^1,3 (1.明治大理工、2.九州シンクロトロン光研究センター、3.明大MREL、4.高輝度光科学研究センター)

キーワード：カーボンドープシリコン、ナノワイヤ、逆格子空間マッピング