[10p-N202-1~19] 15.5 Group IV crystals and alloys

[10p-N202-14] Study on Correlation between Broad Peaks in Raman Spectra of Extremely Thin GOI Observed by Oil-Immersion Raman Spectroscopy and Strain States

〇Ryo Yokogawa^1,2, Chia-Tsong Chen³, Kasidit Toprasertpong³, Mitsuru Takenaka³, Shinichi Takagi³, Astushi Ogura^1,2 (1.Meiji Univ., 2.MREL, 3.Univ. of Tokyo)

Keywords:GOI, Oil-immersion Raman spectroscopy, Strain

歪GOI極薄膜は次世代CMOS等の材料として注目されており、キャリア移動度の観点から歪状態を把握することは重要である。歪評価手法の一つとしてラマン分光法が挙げられ、GOI薄膜化に伴い、特徴的なブロードピークが出現することについて近年報告されている。しかし歪との関係は不明瞭であるため、本研究では酸化濃縮法で作製された歪GOI極薄膜を準備し、ブロードピークと歪状態との関係を詳細に検討したので報告する。