[10p-N202-1~19] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[10p-N202-18] 基板加熱がAl/Ge(111)構造の表面平坦化とGe偏析に及ぼす影響

〇松下 圭吾¹、大田 晃生¹、田岡 紀之¹、林 将平²、牧原 克典¹、宮﨑 誠一¹ (1.名大院工、2.(株)東レリサーチセンター)

キーワード：Ge、表面偏析、極薄膜