[10p-N203-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[10p-N203-8] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(19)窒素複合体の過去現在未来

〇井上 直久¹、川又 修一¹、奥田 修一¹ (1.大阪府大研究推進)

キーワード：シリコン結晶、窒素、赤外吸収

シリコン中の窒素の多様な構造が赤外吸収により明らかになった。しかし微量で複雑なため同定が難しく、下記の紆余曲折を経ている。実験的には感度を1014から1013/㎝3以下まで改善した。また照射により点欠陥との複合体を増強した。局在振動ピーク波数の計算誤差は80㎝-1から１％以内まで向上し、実測値の同定に役立った。今後は未同定な吸収の同定や、予想吸収の探索や窒素点欠陥複合体の挙動の解明が課題である。