[10p-N204-1~17] 6.5 表面物理・真空

[10p-N204-15] 酸化亜鉛の結晶面方位とエタノールセンシングとの関係
～パルスジェット+低速He⁺イオン散乱分光による最表面分析

〇鈴木 拓¹、安達 裕¹、大垣 武¹、坂口 勲¹ (1.物材機構)

キーワード：低速イオン散乱、パルスジェット、半導体ガスセンサ

最表面に敏感な低速He+イオン散乱分光（LEIS）と、パルスジェット法とを組合わせた解析手法を用いて、エタノールに対するガスセンサ特性と感ガス材（今回は、ZnO）表面の面方位との関係を調査した。センサ感度に関係するLEISの散乱強度の面方位に対する依存性は、負電荷吸着酸素の吸着量と関係することが明らかになった。