[10p-N206-1~13] 2.2 放射線物理一般・放射線応用・発生装置・新技術

[10p-N206-1] 原子層堆積法を用いた Co 成膜 Si 光学系のX線反射率評価

〇(D)福島 碧都¹、伊師 大貴¹、江副 祐一郎¹、石川 久美¹、内野 友樹¹、作田 紗恵¹、稲垣 綾太¹、上田 陽功¹、森下 弘海¹、関口 るな¹、辻 雪音¹、村川 貴俊¹、沼澤 正樹²、満田 和久³ (1.東京都立大、2.理研、3.国立天文台)

キーワード：原子層堆積法、X線反射率、X線天文学

将来衛星への搭載に向けて、マイクロマシン技術を用いた宇宙用の軽量X線望遠鏡の開発を進めている。薄い Si ウェハに微細穴を形成し、側壁をX線反射鏡として利用する。反射率向上のため、我々は原子層堆積法に着目し、Si 表面への Co 成膜を実施した。反射率は大反射角で大きく向上し、成膜面の表面粗さは 1 nm rms 程度と将来ミッションの要求を満たしている。今後、微細穴側壁への成膜についても検証を進める予定である。