[10p-N304-1~10] 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

△ [10p-N304-3] Hydrophobicity of Nanopillar Array Structures Fabricated by Bio-template Ultimate Fabrication Processes

〇(M2)Sou Takeuchi¹, Daisuke Ohori¹, Teruhisa Ishida², Mami Tanaka², Kazuhiko Endo³, Seiji Samukawa^1,4 (1.IFS, Tohoku Univ., 2.NAGASE & CO., LTD., 3.AIST, 4.AIMR, Tohoku Univ.)

Keywords:Hydrophobicity, Si nanopillar structure, Neutral beam etching

濡れ性は材料の表面特性を考慮するための重要なパラメータの1つであり様々な産業への応用を目指して広く研究開発されている。固体表面の濡れ性は固体表面の材質と水滴に依存するが、固体表面に微細なピラー構造を作製することで表面の濡れ特性が変化することが知られている。本研究では独自技術を用いてナノレベルで大きさと間隔を制御したナノピラー構造を作製し表面状態や形状の違いによる濡れ性の影響を明らかにした。