[10p-N305-1~18] 3.7 レーザープロセシング

[10p-N305-11] レーザー加工時におけるリアルタイム温度計測

〇高田 英行¹、吉富 大¹、奈良崎 愛子¹ (1.産総研)

キーワード：レーザー加工、温度計測、超短パルスレーザー

非熱的加工を得意とする超短パルスレーザー加工においても、加工部位の温度はその生産性や加工品位に顕著な影響を与えるため、レーザーパルス入射ごとに変動する加工点温度の正確な把握が可能となれば、より高精度のプロセス管理・品質管理が実現できる。そこで我々は、レーザー加工において加工点近傍での急激な温度変化に追従できる高速度・高感度リアルタイム温度計測系の開発を行い、加工時温度のリアルタイム計測を検討した。