[10p-N305-1~18] 3.7 レーザープロセシング

[10p-N305-13] 低エネルギーロングパルスを用いたアモルファス合金箔の効率的穴開け加工

〇辻 剛志^1,2、山本 翔大¹、原 央真¹、池本 隼¹、太田 元基²、中村 大輔³ (1.島根大総理工、2.島根大次世代たたらセ、3.九大工)

キーワード：レーザーアブレーション、ロングパルス、アモルファス合金

低エネルギーのNd:YAGレーザーのロングパルスがナノ秒パルスと比較してアモルファス合金箔の穴開け加工に極めて有効な方法であることを見出した。高い加工効率が得られる主な要因としては以下の2つの因子を推定している。・プラズマ発生量が少ないためにプラズマ遮蔽が抑制される。・一つのロングパルスを構成するサブパルスによって連続的な穴開けが行われる。