[10p-N305-1~18] 3.7 レーザープロセシング

[10p-N305-5] 気相中における紫外パルスレーザーアブレーション生成SiO₂ナノ粒子のレーザー画像計測

〇小池 怜志¹、鈴木 理央¹、片山 慶太¹、東畠 三洋¹、池上 浩^1,2、中村 大輔¹ (1.九大シス情、2.九大ギガフォトンNext GLP)

キーワード：レーザーアブレーション、ナノ粒子、low-k膜