[10p-N305-1~18] 3.7 レーザープロセシング

[10p-N305-6] エクリプス型PLD法によるハイドロキシアパタイト成膜の結晶性の評価

〇屋代 英彦¹、欠端 雅之¹ (1.産総研電子光)

キーワード：パルスレーザーデポジッション、ハイドロキシアパタイト、ラマン分光

医療用インプラントの骨固着を目的としてハイドロキシアパタイト成膜を研究してきた。液滴を排除したエクリプス型のPLD法では原子状粒子だけを成膜し、結晶化への成膜温度の大幅な低下が可能となった。この成膜からのラマンスペクトルの中心波数、幅を詳細に解析を行った。その結果、完全結晶化を可能にする温度以上でもスペクトル幅の低下、応力歪を考慮したラマンスペクトルの中心でシフトが生じている。これは成膜物質の結晶サイズの増加を意味し、高結晶化が達成されていることが確認された。