[10p-N305-1~18] 3.7 レーザープロセシング

[10p-N305-7] ArFエキシマレーザーによるシリコーンゴム上へのマイクロカップ構造形成

〇岩崎 楓¹、吉田 剛¹、大越 昌幸¹ (1.防大電気電子)

キーワード：真空紫外レーザー、表面改質、シリコーンゴム