[10p-N306-1~18] 17.2 Graphene

[10p-N306-18] Fabrication of Graphene Zigzag Edges by Hydrogen Plasma Etching

〇Tomohiro Matsui¹, Taisuke Ochi¹, Masahiro Kamada¹, Takamoto Yokosawa¹, Kozo Mukai², Jun Yoshinobu² (1.ARL, Anritsu, 2.ISSP, UTokyo)

Keywords:Graphene, Zigzag edge, Hydrogen Plasma Etching

グラフェンの端は構造によって異なる物性を示すので、ナノスケールのグラフェンデバイスでは端の制御が重要となる。水素プラズマエッチング(HPE)ではジグザグ(zz)型の端を優先的に作製でき、zz端でスピン偏極を示唆する結果も得られているが、端の終端状態に関してはこれまで研究されていなかった。本講演ではグラフェン、グラファイトのHPEと高分解能電子エネルギー損失分光による終端状態の研究について紹介する。