[10p-N307-1~14] 7.1 X-ray technologies

[10p-N307-2] Charge-separated energy spectra of highly charged ions from EUV source

Hiromu 1Kawasaki¹, Yuto Nakayama¹, Takeru Niinuma¹, Masaki Kume¹, 〇Takeshi Higashiguchi¹ (1.Utsunomiya Univ.)

Keywords:EUV source, laser-produced plasma, highly charged ion

レーザー生成プラズマ光源では，液滴（ドロップレット）ターゲットにより低デブリ化が図られており，デブリのほとんどは高速イオンで占められていることがわかっている．しかしながら，高速イオンはファラデーカップで測ることが多く，価数分離することはできない．そこで，われわれはEUV光源およびBEUV光源から発生する高速多価イオンの価数分離エネルギースペクトルを静電エネルギー分析器 [Elecrostatic analyzer (ESA)] で詳細に測定した．また，価数分離による加速機構をモデリングしている．本発表では，Snおよび希土類元素の多価イオンの価数分離エネルギースペクトルのレーザー強度依存性を示し，加速機構のモデリングについて発表する予定である．