[10p-N307-1~14] 7.1 X線技術

[10p-N307-2] EUV光源から発生する多価イオンの価数分離エネルギースペクトル

川崎 太夢¹、中山 勇冬¹、新沼 大登¹、久米 真樹¹、〇東口 武史¹ (1.宇都宮大工)

キーワード：極端紫外光源、レーザー生成プラズマ、多価イオン

レーザー生成プラズマ光源では，液滴（ドロップレット）ターゲットにより低デブリ化が図られており，デブリのほとんどは高速イオンで占められていることがわかっている．しかしながら，高速イオンはファラデーカップで測ることが多く，価数分離することはできない．そこで，われわれはEUV光源およびBEUV光源から発生する高速多価イオンの価数分離エネルギースペクトルを静電エネルギー分析器 [Elecrostatic analyzer (ESA)] で詳細に測定した．また，価数分離による加速機構をモデリングしている．本発表では，Snおよび希土類元素の多価イオンの価数分離エネルギースペクトルのレーザー強度依存性を示し，加速機構のモデリングについて発表する予定である．