[10p-N307-1~14] 7.1 X線技術

[10p-N307-4] EUV光源に用いる重元素の多価イオンの原子構造と発光線波長のモデリング

〇佐々木 明¹ (1.量研関西研)

キーワード：EUVリソグラフィ、レーザープラズマ、プラズマ原子過程

EUVリソグラフィ技術のさらなる微細化のため、波長13.5nmのスズ光源の高効率、高出力化や、波長6 – 7 nm帯における新たな光源の開発を目指し、重元素の多価イオンが放出するUTA（Unresolved Transition Array）スペクトルの波長の原子番号やイオン価数に対する依存性を再現するモデルを遮蔽水素近似の考え方に基づき構築し、シミュレーション、実験の結果として比較して検証した。