[10p-N307-1~14] 7.1 X-ray technologies

[10p-N307-6] Interferometric Wavefront Measurement on Three-Mirror Objective for EUV Microscopy

〇(M1)Yusuke Tsukui¹, Shuntaro Waki¹, Jun Chen¹, Mitsunori Toyoda¹ (1.Tokyo Polytechnic Univ.)

Keywords:EUV

波長13.5nmで動作する極紫外(EUV)顕微鏡で回折限界分解能を得るには、心臓部となるEUV対物ミラーで生じる波面収差を0.1nmオーダーの精度で計測し極小化する必要がある。このため、我々は、EUV用の高倍率３面対物ミラーに適用可能な点回折干渉計を開発している。本講演では、干渉計において十分な光量を得るために照明光学系の設計を行った結果について報告する。