[10p-N307-1~14] 7.1 X線技術

[10p-N307-6] EUV顕微対物ミラーの高精度波面計測法の開発

〇(M1)津久井 雄祐¹、脇 俊太郎¹、陳 軍¹、豊田 光紀¹ (1.東京工芸大学院工)

キーワード：EUV

波長13.5nmで動作する極紫外(EUV)顕微鏡で回折限界分解能を得るには、心臓部となるEUV対物ミラーで生じる波面収差を0.1nmオーダーの精度で計測し極小化する必要がある。このため、我々は、EUV用の高倍率３面対物ミラーに適用可能な点回折干渉計を開発している。本講演では、干渉計において十分な光量を得るために照明光学系の設計を行った結果について報告する。