[10p-N322-1~16] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野

[10p-N322-2] 深振動マグネトロンスパッタリングのプラズマ発光分光計測

〇横山 英佐¹、小野 洋平¹、高山 昇大¹、坂本 大樹¹、西宮 信夫¹、實方 真臣¹、戸名 正英²、平田 直之²、山本 宏晃²、塚本 恵三²、冨宅 喜代一³、大下 慶次郎⁴、美齊津 文典⁴ (1.東京工芸大工、2.㈱アヤボ、3.神戸大、4.東北大院理)

キーワード：パルススパッタリング、スパッタリングプラズマ、発光分光分析

イオン化物理蒸着法の一つである高出力パルスマグネトロンスパッタリング（HPPMS）の中でも、櫛型の放電電力波形を用いた深振動マグネトロンスパッタリング（DOMS）は優れたアークフリー特性を有しDLC成膜を中心に注目されている。本研究では、DOMSを用いた成膜制御の鍵となるスパッタリング過程およびその原子過程に関する情報を得ることを目的として、DOMSプラズマ発光の時間分解分光測定を行った。