2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.3 絶縁膜技術

[10p-N323-1~12] 13.3 絶縁膜技術

2021年9月10日(金) 13:00 〜 16:15 N323 (口頭)

山本 圭介(九大)、三谷 祐一郎(都市大)

14:45 〜 15:00

[10p-N323-7] HAXPESによる界面ダイポール変調発生の確認

〇(M1)桐原 芳治1、辻口 良太1、保井 晃2、宮田 典幸3、野平 博司1 (1.都市大、2.高輝度光科学研、3.産総研)

キーワード:界面ダイポール、HAXPES、MOS構造