2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

CS コードシェアセッション » 【CS.1】 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[10p-N402-1~10] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

2021年9月10日(金) 13:00 〜 15:45 N402 (口頭)

笹 公和(筑波大)、藤田 奈津子(原子力機構)

14:00 〜 14:15

[10p-N402-5] 高速クラスターイオンビーム照射による炭素箔から放出される二次電子エネルギーのクラスターサイズ依存性

土田 秀次1、中川 創平1、宇野 鳴記1、間嶋 拓也1、斉藤 学1 (1.京大院工)

キーワード:高速クラスターイオンビーム、二次電子エネルギー

SIMS分析の一次ビームに、高速クラスターイオンビームを用いると、二次イオン収量が増大する。本研究では、二次イオン収量増大の要因に二次電子エネルギーが関与していると考え、MeVの炭素クラスタービームCn+ (n ≤ 6) 照射による炭素箔から放出される二次電子エネルギーのクラスターサイズ依存性を調べた。クラスターサイズが増えるに従い、20 eV以下の低エネルギー電子の放出が抑制されるという実験結果を報告する。