[10p-N402-1~10] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析、7.5 イオンビーム一般のコードシェアセッション

[10p-N402-5] 高速クラスターイオンビーム照射による炭素箔から放出される二次電子エネルギーのクラスターサイズ依存性

〇土田 秀次¹、中川 創平¹、宇野 鳴記¹、間嶋 拓也¹、斉藤 学¹ (1.京大院工)

キーワード：高速クラスターイオンビーム、二次電子エネルギー

SIMS分析の一次ビームに、高速クラスターイオンビームを用いると、二次イオン収量が増大する。本研究では、二次イオン収量増大の要因に二次電子エネルギーが関与していると考え、MeVの炭素クラスタービームC_n⁺ (n ≤ 6) 照射による炭素箔から放出される二次電子エネルギーのクラスターサイズ依存性を調べた。クラスターサイズが増えるに従い、20 eV以下の低エネルギー電子の放出が抑制されるという実験結果を報告する。