[10p-N405-1~11] CS.7 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス、4.2 Photonics Devices, Photonic Integrated Circuit and Silicon Photonicsのコードシェアセッション

[10p-N405-11] マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器のアーム間不均衡によるOMAペナルティの評価

〇村尾 覚志¹、牛田 淳¹、高橋 博之¹、徳島 正敏¹、椎名 明美¹、堀川 剛¹ (1.PETRA)

キーワード：シリコンフォトニクス、光変調器

マッハ・ツェンダ型シリコン光変調器の各アーム位相シフタでは，プロセスやSOI厚ばらつきに起因して導波路寸法や不純物密度分布が変化するため，プッシュプル駆動の場合，アーム間不均衡により変調振幅（OMA）も変化してしまう．ここでは，電圧依存性考慮した変調効率形式を用いて位相シフト量のアーム間不均衡を特徴付けることができ， OMAペナルティを算出できることを示す．さらに，300-mm SOIウェーハに対して適用した結果を示す．