[10p-N406-1~18] 9.4 Thermoelectric conversion

△ [10p-N406-1] Conductivity control of polycrystalline Ge thin films using spin-on-glass technique
and its thermoelectric application

〇Tomoki Ozawa¹, Toshifumi Imajo¹, Takashi Suemasu¹, Kaoru Toko¹ (1.Univ. of Tsukuba)

Keywords:germanium, spin-on-glass, conductivity control

多結晶Geは狭バンドギャップゆえ、潜在的に室温で高い熱電性能を示すが、高ドープが困難なためにその熱電特性は未解明であった。本研究では、多結晶Ge膜における高度な固相成長法技術に拡散剤を用いたドーピング手法を活用することで、p型とn型の両方で広範囲のフェルミ準位制御を実現した．多結晶Geにおける熱電特性とキャリア濃度との関係を明らかにし、さらに高い出力因子を達成したので報告する。