[10p-N406-1~18] 9.4 熱電変換

[10p-N406-7] EDLTを用いたIV族熱電材料における熱電特性操作

〇(M2)片山 虎之介¹、石部 貴史¹、中村 芳明¹ (1.阪大院基礎工)

キーワード：熱電発電

本研究ではSi基板上にEDLTを形成した。ゲート電圧を印加していくと、Sが減少、シート電気伝導率は増大した。この結果から、キャリアがチャネル層に蓄積されていると予想される。また、チャネル層の膜厚をシミュレーションにより求めたところ、数nm以下であることがわかった。この膜厚を用いて電気伝導率、キャリア密度を見積もることに成功した。これらの結果は、ゲート電圧による熱電特性操作に成功したことを示唆するものである。