[10p-N406-1~18] 9.4 熱電変換

[10p-N406-8] 熱電発電応用に向けた透明SnO₂薄膜のデバイス特性評価

〇石部 貴史¹、小松原 祐樹¹、上沼 睦典²、浦岡 行治²、中村 芳明¹ (1.阪大院基礎工、2.NAIST)

キーワード：熱電材料、酸化物、エピタキシャル膜

可視光領域で高透過率を有するSnO₂は、環境低負荷元素のみから構成され、かつ高移動度を示すため透明電極材料として有望視されてきたが、その熱電性能に関する報告はあまりない。本研究では、様々な基板上にエピタキシャルSnO₂薄膜を作製し、その熱電特性を明らかにするとともに熱電デバイス特性を評価することで、SnO₂薄膜の熱電材料としての潜在性を示すことを目的とする。