[10p-S203-1~21] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[10p-S203-12] Al基板上おけるLiCoO₂の低温成膜

〇(M1)太田 和希¹、川山 巌¹、片岡 理樹²、前田 泰²、土井 俊哉¹ (1.京大院エネ科、2.産総研電池技術)

キーワード：コバルト酸リチウム、低温成長、2軸配向

薄膜型全固体リチウムイオン電池は、生体用デバイスやICチップ等への応用が期待されているが、代表的な正極材料であるLiCoO2 (LCO)の結晶化のためには600℃程度の基板加熱が必要であった。このような高温での成膜プロセスは、基板、負極、および固体電解質の材質・構造を制限する。本研究では、Al基板上において基板温度100度以下の低温でLCO薄膜の結晶化に成功した。