[10p-S301-3~12] 8.1 プラズマ生成・診断

[10p-S301-11] 電子サイクロトロン共鳴イオン源における低電圧イオンビーム引き出し特性と空間電位測定

〇大和田 一誠¹、久保 渉¹、針﨑 修平¹、佐藤 滉一¹、津田 知輝¹、阿南 雅大¹、加藤 裕史¹ (1.阪大院工)

キーワード：イオンビーム、空間電位、ECRイオン源