2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

8 プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・診断

[10p-S301-3~12] 8.1 プラズマ生成・診断

2021年9月10日(金) 14:00 〜 16:30 S301 (口頭)

堤 隆嘉(名大)

16:00 〜 16:15

[10p-S301-11] 電子サイクロトロン共鳴イオン源における低電圧イオンビーム引き出し特性と空間電位測定

大和田 一誠1、久保 渉1、針﨑 修平1、佐藤 滉一1、津田 知輝1、阿南 雅大1、加藤 裕史1 (1.阪大院工)

キーワード:イオンビーム、空間電位、ECRイオン源