[10p-S301-3~12] 8.1 プラズマ生成・診断

[10p-S301-8] ターゲット有効利用のための磁石回転型マグネトロンスパッタ装置の開発

〇安田 洸也¹ (1.佐賀大学)

キーワード：プラズマ、ターゲット利用、マグネトロンスパッタ装置