2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[11a-N101-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

2021年9月11日(土) 09:00 〜 11:30 N101 (口頭)

岡田 成仁(山口大)、村上 尚(農工大)

10:30 〜 10:45

[11a-N101-6] HVPE-GaN自立基板の貫通転位におけるショットキー接触の電気特性と微細構造の一対一評価

濱地 威明1、藤平 哲也1、林 侑介1、今西 正幸2、宇佐美 茂佳2、森 勇介2、酒井 朗1 (1.阪大院基礎工、2.阪大院工)

キーワード:窒化ガリウム、貫通転位、リーク電流