[11a-N105-1~5] 固相における秩序とは何か：機能を生み出す秩序の概念展開

[11a-N105-2] 固相結晶化の多様性と機能創生への期待

〇浅野 種正¹ (1.九州大E-JUSTセ)

キーワード：半導体、シリコン、固相エピタキシャル成長

シリコンを主たる対象に、固相エピタキシャル成長の成長速度に及ぼす物理化学的要因を整理するとともに、結晶成長の低温化手法とその機構について概観する。