[11a-N105-1~5] 固相における秩序とは何か：機能を生み出す秩序の概念展開

[11a-N105-5] 2次元検出器による固相結晶過程のX線回折その場観察

〇稲葉 克彦¹、小林 信太郎¹、石川 和彦¹、古林 寛²、山本 哲也² (1.㈱リガク、2.高知工科大総研)

キーワード：Ｘ線回折、固相結晶化、その場観察

非晶質薄膜の固相結晶化の様子を追跡するためX線回折その場観測を行った．反応性プラズマ蒸着法により無加熱条件でガラス基板上に成膜した非晶質Sn添加In₂O₃（ITO）薄膜 (膜厚: 50 nm) を出発物質とし， 2次元検出器を搭載した薄膜XRD装置を用いて室温から300℃まで5 ℃/分のペースで連続的に昇温加熱を行い，加熱過程における変化を追いかけた．190 ℃から222反射が観測され結晶化が確認された．