[11a-N106-1~10] 3.8 光計測技術・機器

[11a-N106-4] 倍率補正瞳分割結像方式顕微鏡の提案

〇有馬 英司¹、浦野 雄太¹、松本 俊一²、本田 敏文¹ (1.日立研開、2.日立ハイテク)

キーワード：光学式検査、レンズアレイ