[11a-N207-1~9] 3.15 シリコンフォトニクス・集積フォトニクス

[11a-N207-8] 引張ひずみを増強したSi上Ge層を用いた近赤外pin受光器

〇葛谷 樹矢¹、園井 柊平¹、石川 靖彦¹ (1.豊橋技科大)

キーワード：シリコンフォトニクス、Ge受光器