[11a-N301-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

[11a-N301-11] 電界蒸発によって形成した表面のSTM観察

〇(M2)久保 潤記¹、黒川 修¹ (1.京都大学工)

キーワード：走査トンネル顕微鏡、アトムプローブトモグラフィー

我々はアトムプローブトモグラフィー測定後の試料表面を走査トンネル顕微鏡(STM)で観察する手法の開発を行ってきた．この方法では電界蒸発によってSTM観察に適した平坦な表面を得ることができ，より広範な試料へのSTMの応用が期待される．今回，観察対象となる電界蒸発後の試料表面を超高真空環境に保つため，STM装置内に電界蒸発装置を導入した．当日は，試料としてSi試料を用いたSTM観察結果を報告する．