[11a-N301-1~11] 6.6 プローブ顕微鏡

[11a-N301-2] LabVIEW/FPGAを用いたオープンソースSPMコントローラの開発

〇野村 光^1,2、Hon Kwan¹、乘松 拓実¹、延壽 耕平¹、安倍 祥太¹、堀内 遊宇¹、後藤 穣^2,1、鈴木 義茂^2,1 (1.阪大基工、2.CSRN-Osaka)

キーワード：走査プローブ顕微鏡

SPMに携わる研究者間にてSPM制御の基本的な制御システムを共有することで，SPMを基盤とする研究開発を加速することが可能となる．そこで、我々はプログラムの作製が比較的容易なLabVIEW/FPGAを用いたSPMコントローラを開発した．本講演では，本システムの詳細ならびに拡張方法について紹介する．