[11a-N301-1~11] 6.6 Probe Microscopy

[11a-N301-4] Formulation between electrostatic force and frequency shift in FM-EFM for quantitative capacitance measurements

〇(DC)Ryota Fukuzawa¹, Takuji Takahashi^1,2 (1.IIS, The Univ. of Tokyo, 2.NanoQuine, The Univ. of Tokyo)

Keywords:Electrostatic force microscopy, quantitative measurements, C-V measurements

周波数変調型静電引力顕微鏡では、周波数シフトから探針-試料間の静電引力を評価しているが、空乏層容量を含むような半導体においての周波数シフトと静電引力の一般的な定式化はなされていなかった。我々は、静電容量の定量的測定にむけて、静電引力と周波数シフトの関係式を導いた。さらに、n型Si基盤上で測定した周波数シフトを容量換算することで、定量的にC-V特性を取得することに成功した。